加速突破核心技术瓶颈 华特气体多项技术工艺将填补国内技术空白

陈笑

近年来，在国家政策的扶持和带动下，气体产业正在加快从高速增长向高质量发展转变，成为经济增长新亮点。但由于气体行业有别于传统化工行业，尤其是电子特气，无论是技术、应用还是商业模式，均对市场参与者的研发能力、生产能力及品质管控能力均提出了很高的要求，而缺乏高素质的研发人员和有经验的生产管理人员是我国气体企业面临的普遍现象，成为制约我国特种气体行业发展进步的一大障碍。作为国内率先打破极大规模集成电路、新型显示面板等尖端领域气体材料进口制约的民族气体厂商，华特股份在经过多年的技术积累，突破并优化了多项关键技术，使国内的气体纯化技术、气体混配技术、气瓶处理技术、分析检测等技术进入到国际先进水平。

据了解，广东华特气体股份有限公司（简称华特股份）1999年2月成立于中国广东省佛山市。自成立以来，华特股份便专注于气体及气体相关的设备和电子化学品业务。通过不断优化自身结构、提高质量管理体系，目前，华特股份已掌握特种气体从生产制备、存储、检测到应用服务全流程涉及的关键技术，研发出了近20个进口替代产品，并实现了规模化生产，其中Ar/F/Ne混合气、Kr/Ne混合气、Ar/Ne混合气、Kr/F/Ne混合气4种光刻气产品，2017年在国内市场占有率达到60%，位于国内第一。
四大技术核心技术 助力气体行业有序发展
气体纯化是通过多重高效吸附、精馏等方式，对气体原料中的水分、空气、金属离子、颗粒物等杂质进行去除，将气体纯度提至5N（99.999%）、6N（99.9999%）乃至7N（99.99999%）。一般而言，国家标准中的高纯气体纯度为5N（99.999%），而目前，华特股份已具备将NH3、He、N2、C2F6等多个产品纯化至6N、7N 的水平。以NH3为例，经公司纯化后纯度可达7N（99.99999%），其中各杂质的控制情况如下：H2≤10ppbv（即体积含量小于10*10-9），O2+Ar≤10ppbv，N2≤10ppbv，CH4≤10ppbv，CO≤10ppbv，CO2≤10ppbv，H2O≤60ppbv。

气体混配是指根据不同需求，运用重量法、分压法、动态体积法等方法，将两种或两种以上组分的气体按照特定比例混合，对配制过程的累计误差控制、配制精度、配制过程的杂质控制等均有极高要求。以光刻气为例，华特股份的Ar/F/Ne、Ar/Ne、Kr/Ne等光刻气产品的配气误差可控制在±2%以内，组分气从5N（99.999%）纯化到5N5（99.9995%），对于充装管线上的颗粒物过滤控制，可以控制0.003um的颗粒，弥补了国内在该领域的技术空白。
气瓶处理在气体存储、运输、使用的过程中对保持气体品质意义重大，通过去离子水清洗、内壁研磨、钝化等工艺，解决钢瓶内壁吸附杂质的二次污染、与载气发生反应等问题。目前，华特股份已掌握去离子水清洗、内壁研磨、钝化等工艺，并能根据载气的不同，进行磨料配方筛选、研磨时间设定、钝化反应动态调整、多重氦气置换、直联泵抽真空等，经公司处理的钢瓶表面光滑度可达0.1~0.5μm，真空环境最高可达0.01pa，远高于行业内一般水平，可用于存储ppm浓度级的腐蚀性气体、6N（99.9999%）以上超高纯度气体等，即使对最活泼的气体F2，华特股份亦是全球少数能对其气瓶进行处理的公司，保证F2不与钢瓶内壁发生反应，保障气体质量的稳定。

由于气体“看不见、摸不着”的特点，其参数量化均依赖于分析检测，需基于对检测对象的分析判断，建立专门的检测方法，通过气相色谱仪、微量氧分仪等设备对气体的纯度、颗粒物等进行精准检测，对气体产品质量的控制具有重要意义。相比于行业内一般的检测水平（检测精度为1-10ppb），华特股份对多种气体的检测精度可达0.1ppb（0.1*10-9），而且对于重组分检测、百分比浓度含氟量的检测等行业难题均建立了独特的检测方法。
目前，华特股份进入了英特尔（Intel）、美光科技（Micron）、德州仪器（TI）、海力士（Hynix）等全球领先的供应链体系，实现科技成果与产业的深度融合。未来，华特股份除继续巩固现有产品技术优势和市场优势外，还将重点利用现有资源和技术基础，持续加大研发力度，完善品质管理，逐步开拓更为广阔的特种气体市场。想了解更多有关华特股份的详细资讯请登录官网http://www.huategas.com  。