激光打标机加工中淀积温度的作用淀积温度也是重要

zhangping456 · 发表于 2013-5-22 15:47:47

激光打标机加工中淀积温度的作用淀积温度也是重要的工艺参数之一。由于淀积机制的不同，它对淀积膜质量的影响水平也不同。同一反响体系在不同温度下，淀积膜能够是单晶、多晶、非晶相构造，以至基本不发作淀积。普通地说．进步淀积温度能够使淀积速度加快，同时，由于进步了废品粒子的迁移才能和能量，常常会使淀积膜的构造和形貌都得到改善。但是，温度太高则可能惹起淀积物的蒸发和剥离，反而降低生长速率。淀积温度还影响淀积膜的纯度。

一股衬底资料的纯度不是很高，淀积温度较高时，衬底内的杂质可能挥发，以气相淀积的方式进入淀积膜，或直接经过衬底—淀积膜界面进入淀积膜，这就降低了淀积膜的质量，这种现象称为‘自掺杂效应”。为防止自掺杂效应，淀积温度应尽可能的低。另一方面，外延生长时，持别是异质外延生长时，两种资料的热学性质不同，因热失配构成的应力会在界面形成大量构造缺陷，并向外延层传播。由于这种应力的作用，也可能产生新的错位等缺陷，因而也请求尽量采用较低的衬底温度。综上所述．合理选择并准确控制淀积区温度是非常重要的。 www.tjhslaser.com 北京激光

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