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标题:
离子束加工设备及使用
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作者:
binst
时间:
2013-5-7 19:57
标题:
离子束加工设备及使用
离子束加工设备及使用
离子束加工设备由离子源、真空体系、控制体系、电源组成;设备区别首要体现在离子源不一样;经过离子源发生离子束流,即原子电离成为离子;详细进程为:
气态原子写入电离室后,经高频放电、电弧放电、等离子体放电或电子炮击,使气态原子电离为等离子体(正离子和负电子数目持平的混合体),再经过一个相对于等离子体为负电位电极(吸极)引出正离子,构成正离子束流,便可用于离子束加工。常用的离子源有考夫曼型离子源和双等离子体型离子源。www.tjsjft.net 天津不锈钢
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